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精机产品・技术报告:高精度空气导轨

空气导轨采用静压空气轴承进行导向,滑动面的摩擦极小,没有滑移爬行。因此运行非常平稳,能获得很高的直线度和定位精度,速度不均也很少。同时,产生异物少很适合在清洁环境的场合使用。
根据这些优异的特性,各种精密测量设备或者是逐渐高密度化高精度化的半导体及情报设备的制造装置,检查装置等,在这些地方原来使用滚动导轨很难达到所需的精度的条件下,使用空气滑块的场合很多。公海赌赌船jcjc710针对这种要求,开发并生产出了空气导轨。
公海赌赌船jcjc710标准形状的空气导轨按照导轨的支撑方式的不同分为2类(如图1)。A型空气导轨的导轨两端的支撑方式采用最简单的构造,适合轻载时使用(如图2)。B型空气导轨的导轨两端采用全面支撑,没有因载荷而导致的导轨的弯曲变形,适合重载时使用(如图3)。公海赌赌船jcjc710空气导轨的特点如下所示。

  • 1) 轴承采用多孔设计,刚度高,空气流量少。
  • 2) 导轨和滑块工作台都使用的陶瓷材质,质量轻导轨弯曲变形少。
  • 3) 附带驱动马达的空气导轨单元也在生产销售。
图1:标准型空气导轨的构造和支撑方式&图2:A型空气导轨&图3:B型空气导轨

空气导轨的驱动方式是依靠滚珠丝杠、马达、直线马达及导线或皮带来实现的。滚珠丝杠驱动作为一种简便的驱动方法,被广泛使用,但因安装方法对运行精度有较大的影响,需要在螺母和滑块工作台的组合上下功夫。图4是A形空气导轨在没有负载时的平直度,因采用导线驱动,避免了驱动对精度的影响,能获得很高的精度。
为了发挥空气导轨的高精度,驱动机构或控制方式也要采用与使用条件相匹配的方法,也有必要作为直线导向装置进行设计和制作。

图4:空气导轨平直度测量例